氦气纯度
1、工业氦
项目名称指标
氦气纯度：≥99%
氖（氢）、氧（氩）、氮、甲烷总含量，%≤1
水分含量，露点，≤-43℃
2、纯氦
项目名称指标
优等品一等品合格品
氦气纯度，%≥99.99599.99399.99
氖含量，ppm≤152540
氢含量，ppm≤357
氧（氩）含量，ppm≤355
氮含量，ppm≤101725
一氧化碳，ppm≤111
二氧化碳，ppm≤111
甲烷量，ppm≤111
水分含量，ppm≤101520
3、高纯氦气
氦气纯度>99.999%，
杂质含量（ppm）：
o2≤0.5，
n2≤1.0，
co≤0.5，
co2≤0.5，
ch4≤0.5，
h2o≤0.5，
ne≤8.0；
4、超纯氦气
氦气纯度>99.9999%，
杂质含量（ppm）：
n2≤0.5，
o2≤0.5，
ne≤0.5，
co≤0.1，
co2≤0.1，
thc≤0.1，
h2o≤0.2；
