六氟化硫（化学式为sf6）常态下是一种无色、无味、无毒、无嗅的非燃烧性气体。作为一种电子气体，六氟化硫具有良好的化学稳定性、耐腐蚀性、电绝缘性以及耐热性，在半导体、电力设备、航空航天、半导体制造、金属加工、医疗等领域应用广泛。
根据应用领域不同，六氟化硫可分为工业级六氟化硫以及电子级六氟化硫，近年来，随着大规模集成电路技术提升，市场对电子气体纯度、质量等要求越来越高，在此背景下，六氟化硫产业逐渐由工业级向电子级方向升级。
电子级六氟化硫可作为氟源、蚀刻气体等应用在半导体、面板显示器件等大规模集成电路的蚀刻和清洗过程中。作为一种高附加值的精细化学品，电子级六氟化硫行业存在一定的技术、研发以及资金壁垒，早期受技术限制，我国电子级
六氟化硫产能不足，产品进口依赖度较高，进入21世纪，我国电子产业发展迅速，国内市场对电子级六氟化硫的需求增长快速，电子级六氟化硫实现自主生产需求迫切。
根据产业研究中心发布的《2021-2025年中国电子级
六氟化硫市场可行性研究报告》显示，近年来，随着我国半导体产业的不断发展，电子级六氟化硫市场需求增速加快，我国电子级六氟化硫生产能力实现增长。目前来看，我国六氟化硫生产企业数量较多，但其中具备电子级六氟化硫量产能力的企业较少。
我国电子特气进口依赖度较高，为提升电子特气自给率、争夺国际市场，我国政府对电子特气行业发展的重视度提升。这标志着我国极大规模集成电路行业用高纯度六氟化硫电子气体实现了国产化。
行业分析人士表示，电子级六氟化硫行业存在一定的技术、研发以及资金壁垒，早期我国电子级六氟化硫进口依赖度较高，近年来，在政策扶持力度加大、企业研发能力提升的背景下，电子级六氟化硫逐渐实现国产替代。目前我国具备电子级六氟化硫量产能力的企业数量较少，市场供应仍偏紧，未来我国电子级六氟化硫行业发展空间广阔。
