| 气体标识 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 名称：nitrogen trifluoride 分子式：nf3 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 气体物化特性 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 包装 ( cylinder（47l）、bundle(16×47l)、bundle(25×47l)、 y-cylinder(470l)、 iso等) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 储存及运输 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 三氟化氮气瓶应储存于阴凉、通风仓库内。三氟化氮气瓶应远离火种、热源、防止阳光直射，与还原剂、易燃或可燃物等分开存放。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 三氟化氮气瓶在搬运时要轻装、轻卸，防止钢瓶及附件破损。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 三氟化氮气瓶的运输按危险品运输。运输时用气瓶固定架将三氟化氮气瓶固定好，用汽车公路运输或用轮船集装箱运输。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 泄漏应急处理 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 如遇有三氟化氮气体泄露，工作人员要马上撤离泄漏污染区，并尽可能采取措施阻止三氟化氮气体的进一步泄露。如有工作人员中毒，应立即送往医院救治。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 泄露现场要尽快处理，处理泄露现场的工作人员必须配戴必要的防毒面具，最好是自给正压式呼吸器。泄露现场经检测无危害气体后方可进入工作人员，泄露容器必须经仔细检查、维修或妥善处理好后方可继续使用。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 三氟化氮气体产品质量标准（qj58-2007） | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 三氟化氮检验系统 | 三氟化氮产品检测 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体，是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体，在离子蚀刻时裂解为活性氟离子，这些氟离子对硅和钨化合物，高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性（对氧化硅和硅），它在蚀刻时，在蚀刻物表面不留任何残留物，是非常良好的清洗剂，同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。
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