六氟化硫气体除在合成过程中产生的杂质外，在气体的充装过程中还可能混入少量的空气、水分、和矿
物油等杂质，这些杂质均带有或会产生一定的毒性物质。因此，为保证纯度和质量，对出厂的六氟化硫
均制定了质量标准，并要求生产厂家在供货时提供生物试验无毒证明书。
2、电器设备内的六氟化硫气体分解物与其内的水分发生化学反应而生成某些有毒产物。 例如：sf6气体
分解物与水的继发性反应生成氢氟酸、二氧化硫、硫酸等
3、电器设备内的sf6气体及分解物与电极(cu-w 合金)及金属材料(al、cu)反应而生成某些有毒产物。
例如：六氟化硫气体及分解物与电极或其它材料反应： alf3(固态粉末)alf3(固态粉末)cuf2(固态粉末)
等固态粉末
4、电器设备内的sf6气体及分解物与绝缘材料反应而生成某些有毒产物。如与含有硅成分的环氧酚醛玻
璃丝布板(棒、管)等绝缘件;或以石英砂、玻璃作填料的环氧树脂浇注件、模压件以及瓷瓶、硅橡胶、硅
脂等起化学作用，生成sif4、si(ch3)2f2等产物。
