六氟化硫气体因其电气强度高、热稳定性好，被广泛应用于高压电气设备中。
六氟化硫气体的化学性质非常稳定。纯六氟化硫气体并非无毒，但对于大电流、强电弧放电产生的含硫低氟化物。这些材料反应性强，与电极材料发生反应，有水和氧气时受潮，使其分解成有毒或有毒气体。这些有毒气体主要损害人体的呼吸系统。中毒后，会出现感冒、皮肤过敏、恶心和疲劳等不良反应。吸入后会出现更严重的后果。因此，在对六氟化硫设备进行检查、修理和试验时，应采取以下防护措施:
(1)工作现场应通风良好，检修人员应处于逆风位置;
(2)经常佩戴防毒面具和防护手套;
(3)排放的气体不得回收或者经管道排入排水沟直接排入大气;
(4)休息前或工作后，用肥皂和大量的水洗脸、颈部、手臂和手。
(5)如果接触到大量气体，应立即清洗，换衣服，并到医院观察治疗情况。
