在电器设备中，介质使用的必要条件之一是介质的化学惰性。也就是说，介质不能与设备使用的材料发生化学反应。在正常条件下，纯六氟化硫可以满足这个条件。
六氟化硫的化学性质非常稳定，在空气中不燃烧，不支撑燃烧，不与水、强碱、氨、盐酸、硫酸等反应。sf6具有良好的热稳定性，在常温或高温状态下不会发生，sf6的热分解温度约为500°c，但由于特定金属的存在，sf6的稳定性大大降低，其热分解温度从°150结果超过200·气温达到150℃，六氟化硫开始慢慢变成氟化硅板硫化，六氟化硫在铝或铜存在的情况下约200℃开始分解。250岁时，他开始与金属钠反应，生成氟化钠。但是，在223°c时，将各种金属放入六氟化硫气体中进行270次测试的结果表明，腐蚀程度仍然可以忽略不计。
因此，
sf6在电气设备正常工作的温度范围内是稳定的，不会对电气设备常用的金属(钢、铝)和绝缘材料(环氧树脂等)产生化学影响。六氟化硫只有在电弧的作用下，在数千°c的温度下才会发生剧烈的分解和离子化，产生各种各样的分解产物，其中一些以石英粉末为填充剂，导致环氧绝缘体的绝缘性能下降。
碳素，
六氟化硫分子，作为arc熄灭介质断路器sf6能成为很大的强项，因此在水平不使用绝缘体以外的情况下，形成碳素粒子。表面连续导体层的石油逐渐变黑，显示石油的含碳量增加，必须替换为绝缘石油。
另外，
六氟化硫气体的空气含量也受到严格的管理。因此，六氟化硫气体绝缘装置触点的氧化可以忽略不计，从而大大提高了触点的寿命。
