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sf6气体本身是无毒性的，之所以变为有毒气体，实际上是因为该气体同其它物质发生化合反应生产剧毒物质。一般电器设备内的六氟化硫气体及分解物在高温电弧、电极（cu－w合金）及金属材料（al、cu）、内部水分及其它绝缘材料反应而生成某些有毒产物。
常见的sf6气体的毒性化合物有：氟化亚硫酰（sof2）、氟化硫酰（so2f2）、四氟化硫（sf4）、二氟化硫（sf2）、氟化硫（s2f2） 、氟化氢（hf）、十氟化二硫（s2f10）、三氟化铝（aif3）、十氟化二硫一氧（s2f10o）。
此外，六氟化硫产品不纯，出厂时含高毒性的低氟化硫、氟化氢等有毒气体。
当吸入高浓度sf6时可出现呼吸因难、喘息、皮肤和粘膜变蓝、全身痉挛等窒息症状。吸入六氟化硫发声时，声音会比平时低沉浑厚。
一般电厂内发生的六氟化硫气体中毒，均是因为该气体在遇到高热、高温（如：电弧），会产生出副产物—氧化硫和氟化氢气体，它们与未分解的六氟化硫气体共存。
一氧化硫是一种硫酸酐，易被人体湿润的粘膜表面吸收生成硫酸和亚硫酸，对眼和呼吸道粘膜有强烈的刺激作用。具体表现为流泪、咳嗽、喉灼痛、眼结膜及呼吸道刺痛等症状。遇到人体的汗液，会使人的皮肤红肿。
氟化氢，易溶于水，同样易被人体湿润的粘膜表面吸收而生成氢氟酸，它对人体的危害同氧化硫一样，对眼和呼吸道危害更大。氢氟酸腐蚀性极大，若遇到人的汗液，在人的皮肤表面形成氢氟酸，它能穿透皮肤表面向深层渗透，形成溃疡和坏死，且不易治愈。氟化氢的毒性比氧化硫和六氟化硫更大。
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