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氙气的制备需要特大型空气分离设备，目前国产氙气生产缺口较大，市场上氙气一部分来自国内大型气体企业生产和其它国家氙气进口来满足需求。
提取稀有气体的原料是空气、天然气和氨合成过程的尾气。空气是制取稀有气体的主要原料，通过液态空气分级蒸馏，可得稀有气体混合物，再用活性炭低温选择吸附法，就可以将稀有气体分离开来。稀有气体在这些原料中浓度很小，从分离的角度来看：
1.分离单位量的稀有气体所需的可逆功,即理论最小功与工业上实际分离功相比差距是相当大的.
2.实际分离功比可逆功高得多，它随着要提取的各组分初始浓度的下降相当迅速地增大，原因是大量的其它组分必须一起处理，消耗很大。由于能耗方面的原因，又由于初始浓度很小时，单位产品设备投资很高，所以稀有气体总是作为空分装置及氨合成过程尾气分离装置的“副产品”提取的。在这类装置中，稀有气体在主要产品分离过程中就已经被增浓了。
空气中氖、氦气的沸点比氮低，反属有钙、氙的沸点比氧要高；而氩的沸点介于氧和氮之间并靠近氧的沸点。
空气加压到约0.56mpa后，经切换式换热器冷却到大约露点温度，同时除去水分、二氧化碳和高沸点的烃类，然后进入下塔。在精镏塔中，氩、氖、氦、氪、氙由于和氧、氮的沸点不同，汇集在塔内不同的曾位。
由于氪、氙的沸点最高，空气进入下塔后，氪、氙被冷凝在下塔的液空中，并随着液空进入上塔，然后汇集在上塔底部的液氧和气氧中。
各行各业对氧气、氮气、氩气、氙气、氖气等气体的需求急增，用量越来越大，也就促使空分设备(制氧机)越造越大。现国外空分设备特点是：巨型化、填料塔、无氢制氩、内压缩、气液并产、高自动化、高可靠、低能耗、长周期等。
国际上氙气进口厂家投运的最大空分设备是：法国液化空气公司3200t/do2(2002年3月已拿到3550t/do2的订单)；美国空气制品与化学品公司的3100t/do2；德国林德公司的335000m3/hn2(一处4台)；美国普莱克斯实用气体有限公司的1700t/do2；英国氧气公司的2400t/do2；德国梅塞尔集团的1700t/do2；俄罗斯深冷机械公司(前苏联)的70000m3/ho2等。投运的最大制氧站是南非煤-油-气公司，＞100万m3/ho2；最大制氮站是墨西哥坎塔雷尔，134万m3/hn2。现国外大型空分设备，氧提取率＞99%(达到99.8%)，氩提取率(膨胀空气进下塔)可达92%～94%，能耗＜0.565kwh/m3o2(包括压氧，＜3mpa）。
随着国民经济的发展，我国空分设备制造业从1999年下半年开始，走出低谷，三年来行业形势一直趋好，钢铁、石化、化肥等工业均竞上新的大型空分设备。
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