六氟化硫气体具有较高的电气强度和良好的热稳定性，广泛应用于高压电气设备中。六氟化硫气体的化学性质极为稳定。纯六氟化硫气体无毒，但当切断大电流时，由于强电弧放电，会产生一些含硫低氟化物。这些物质具有很强的反应性。当水和氧气存在时，它们继续与电极材料和水反应，分解并产生有毒或剧毒气体。这些有毒气体主要损害人体的呼吸道。中毒后有副作用，如感冒、皮肤过敏、恶心、呕吐、疲劳等。如果吸入剂量较大，将产生更严重的后果。因此，在维护和测试六氟化硫设备期间，应采取以下保护措施：
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（1） 施工现场应通风良好，维修人员应处于上风位置；
（2） 佩戴防毒面具和防护手套；
（3） 回收排放的气体或使用不适合直接排放到大气中的管道将气体排放到下水道系统中；
（4） 休息前或下班后，用肥皂和大量水彻底清洗面部、颈部、手臂和手；
（5） 如果意外接触大量气体，应立即清洗、更换衣服并及时到医院进行观察和治疗。
六氟化硫气体用于绝缘和/或灭弧4型电气设备；sf6断路器和气体绝缘开关设备（此处指六氟化硫封闭开关设备，国际上称为“气体绝缘开关设备”）、sf6电力开关设备、六氟化硫绝缘输电线路、六氟化硫变压器和sf6绝缘变电站。80%用于高压和中压电源。
