然而，六氟化硫在室温下材料性能稳定，但在sf6气体电弧运动的逆效应分解温度下，会转化为更多的含氟化合物、电弧、火花和电晕放电，从而产生复杂的sf6分解气体和有毒气体，主要有sf4、sof2、sof4、so2、co2、h2s、hf等和cf4。这些分解产物大多对环境有害。处理六氟化硫的分解是非常重要的！
不久前，广西电力研究院在广西建立了第一个六氟化硫固体分解分析研究实验室。这标志着广西电网六氟化硫电气控制工程施工设备故障诊断数据信息科学技术进入了一个新的阶段。根据介绍，六氟化硫固体分解试验室是中国科学院六氟化硫重点经济发展空间实验室资源管理系统的重要组成部分。主要包括电感耦合等离子体质谱（icp-ms）和相关知识的理论基础，以支持公司生产设备的质量和安全，结合icp的高温（7000k）电离特性和四棒质谱仪灵敏度高、扫描速度快的优点。该系统可以根据市场分析教学目标，同时检测六氟化硫固体分解元件的成分，实现六氟化硫电气自动化设备有限公司财务内网故障的快速定位诊断。
sf6电气设备内部故障是一个复杂的物理化学过程。分解气体种类繁多，含量低，稳定性差。失效类型和含量不仅与失效能量直接相关，还与失效部位和材料类型、气体湿度、杂质、失效后吸附剂的吸附时间等直接相关，必须对设备的失效进行全面分析。除分析检测六氟化硫固体分解产物外，通过气体绝缘开关设备局部放电辅助在线检测，结合超声波定位等技术手段，采用氦离子气相色谱等新技术对sf6气体分解产物进行了全面、准确的分析，提高了故障诊断的准确性。
固态sf6分解时，不同之处在于利用检测装置分析故障的合理部位，这也是一种很好的测量方法。气体六氟化硫用作电弧绝缘和熄灭的电气设备，其气体六氟化硫及其分解产物应在以下四种条件下回收或处理。
1.新产品开发和技术试验完成时的绝缘击穿试样；
2.电气设备维护；
3.电气工程设备故障排除；
4.处理和更换丢失的电气设备。
