六氟化硫（sf6）是一种无色、无味、无毒的气体，不可燃，微溶于水。六氟化硫是个极为惰性的气体，不与水、盐酸、氢氧化钠和熔融的钠作用，但会与金属锂反应并放热。六氟化硫的一氯代物（sf5cl）可以用四氟化硫为原料制备，结构与六氟化硫类似，但具强氧化性，很快水解生成硫酸盐。
从有关部门的试验及研究结果可知，
六氟化硫气体的毒性主要来自5个方面。
1、电器设备内的
六氟化硫气体在高温电弧发生作用时而产生的某些有毒产物。
2、六氟化硫产品不纯，出厂时含高毒性的低氟化硫、氟化氢等有毒气体。
3、电器设备内的
六氟化硫气体及分解物与电极（cu－w合金）及金属材料（al、cu）反应而生成某些有毒产物。
4、电器设备内的
六氟化硫气体分解物与其内的水分发生化学反应而生成某些有毒产物。
5、电器设备内的
六氟化硫气体及分解物与绝缘材料反应而生成某些有毒产物。如与含有硅成分的环氧酚醛玻璃丝布板（棒、管）等绝缘件；或以石英砂、玻璃作填料的环氧树脂浇注件、模压件以及瓷瓶、硅橡胶、硅脂等起化学作用，生成sif4、si（ch3）2f2等产物。
1、氟化亚硫酰（ sof2 ）
无色剧毒气体，能侵袭肺部，引起肺组织急性水肿，影响气体交换，使肺部缺氧充血而导致窒息性死亡，它有强烈的恶心臭味，可作为警告信号之用。白鼠和兔子的致死浓度为 10 × 10 -6 和 50 × 10 -6 （ v/v ）。
2、氟化硫酰（ so2f2 ）
挛性化合物，无色无臭，在较高浓度下对肺组织有刺激作用，引起肺泡出血。白鼠和兔子的致死浓度为 200 × 10 -6 和 400 × 10 -6（ v/v ）。
3、四氟化硫（ sf4 ）
无色气体，有类似 so2的刺激性臭味，毒性与光气相当，对肺有侵害作用。
4、二氟化硫（ sf2 ）
沸点 35 ℃，极不稳定，受热后更加活泼，易水解生成 s 、 o2 、 hf 等，其毒性于 hf 相当
5、氟化硫（ s2f2 ）
常温下为无色气体，具有很强的毒性，遇水后生成 hf ，对呼吸系统有类似光气的破坏性作用。
6、氟化氢（ hf ）
无色气体或液体，具有强烈的刺激性臭味，极易溶解于水，形成氢氟酸，对一般材料具有较强的腐蚀性。 hf 对皮肤、粘膜有强烈的刺激作用，并能引起肺水肿、肺炎等。
7、十氟化二硫（ s2f10 ）
常温常压下为无色易挥发液体，系剧毒物质，毒性约为 sof2 的 300 倍。s2f10主要侵袭肺住址，引起肺出血和肺水肿。白鼠的致死浓度为 1 × 10-6 （ v/v ）。
8、三氟化铝（ aif3 ）
白色粉末状，通常吸附了大量的有毒气态分解产物，故应被视为具有强烈腐蚀性和毒性的物质。 alf3 粉尘可刺激皮肤引起皮疹，对呼吸系统及肺部均有侵袭作用。
9、十氟化二硫一氧（ s2f10o ）
剧毒物质，对肺组织强烈侵袭作用。白鼠的致死浓度为 20 × 10-6 （ v/v ）。
